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芯片失效分析

超星半导体提供专业的第三方芯片失效分析(Failure Analysis)服务:遵循「由表及里、非破坏优先」的标准化流程,综合运用 ATE 电测、X-Ray/CT 与 SAM 无损成像、FIB/SEM 剖面、EMMI/OBIRCH 电路级定位与 SIMS/XPS/AFM 材料表征,帮助客户快速定位设计缺陷、工艺异常与应用故障——覆盖功能异常、短路漏电、批量失效等场景,缩短开发周期、提升良率、降低现场失效率。

核心业务能力

电学特性验证

Electrical Characterization

ATE 测试、探针台测量、I-V 曲线分析

非破坏性检测

NDA

X-Ray/CT 2D/3D 成像、红外热成像、超声波扫描(SAM)

破坏性物理分析

DPA

化学/激光开封、FIB/SEM 剖面、EDS 元素分析

电路级失效定位

EMMI / OBIRCH

光子发射显微、激光诱导阻抗变化、电子束探针

材料与表面分析

SIMS / XPS / AFM

表面与成分表征

典型分析流程

由表及里、先非破坏后破坏

  1. 失效复现与电学定位

    基于失效背景与 ATE 测试,复现故障并锁定异常电性参数,缩小失效范围。

  2. 非破坏性内部检测

    通过 X-Ray CT、热成像、SAM 等技术,无损检测封装内部结构、热分布与界面缺陷。

  3. 微观物理分析与材料表征

    精准开封、FIB 剖面制备,SEM/TEM 观察纳米级缺陷,EDS/SIMS 分析成分与污染。

  4. 电路与器件级精确定位

    应用 EMMI、OBIRCH 等高精度定位技术,在晶体管或电路节点层面识别漏电、短路、断路。

  5. 根因诊断与改进建议

    结合电学-物理-材料数据,构建失效机理模型(电迁移、HCI、ESD 损伤等),提供设计、工艺或应用端改进方案。

技术特色与优势

  • 高端设备平台 配备双束 FIB、高分辨率 SEM、3D X-Ray、全自动探针台等先进设备。
  • 跨工艺节点经验 涵盖从成熟制程到先进封装(Flip-Chip, SiP, Fan-Out)的失效分析案例。
  • 工程专家团队 由半导体物理、器件工程、材料科学背景的资深工程师主导项目。
  • 分析流程标准化 严格执行数据交叉验证与样品保护流程,确保分析结果准确可靠。

典型应用场景

研发阶段

功能异常、参数漂移、可靠性测试失效

量产与封装

焊球空洞、键合线断裂、分层、污染相关失效

现场应用

过压/过流损伤、ESD/EOS 事件、热疲劳失效

可靠性提升

HTOL、ELFR 等测试中的早期失效分析与机理研究

为什么选择我们?

我们致力于将失效分析转化为产品竞争力的关键支撑。通过精准定位、快速响应与深度诊断,帮助客户缩短开发周期、提高良率、降低现场失效率,为芯片的全生命周期质量保驾护航。

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常见问题

失效分析遵循什么流程原则?
由表及里、先非破坏后破坏:失效复现与电学定位 → 非破坏性内部检测 → 微观物理分析与材料表征 → 电路与器件级精确定位 → 根因诊断与改进建议。
分析能力覆盖哪些技术手段?
ATE 测试与 I-V 曲线、X-Ray/CT 与 SAM 无损成像、化学/激光开封与 FIB/SEM 剖面、EMMI/OBIRCH 电路定位、SIMS/XPS/AFM 材料表征。
典型应用场景有哪些?
研发阶段失效、量产与封装不良(焊球空洞/键合线断裂/分层/污染)、现场应用失效(过压过流/ESD/EOS/热疲劳)以及 HTOL、ELFR 等可靠性试验中的早期失效分析。